mems器件的综述论文
问：MEMS技术在仪器仪表中的现状及前景
- 答：MEMS是目前比较热门的一项技术，即微机械加工系统，现在很有发展前景的一类产品——MEMS传感器就和仪器仪表行业相关，我所了解的航天系统有几个所在做这种器件，MEMS传感器不仅会在仪器仪表行业展露头角，更是未来物联网发展的必要支撑。MEMS包括光刻、镀膜、氧化等工艺，在半导体行业已经运用的非常纯熟，将其引进到仪器仪表行业，会极大地促进该行业的发展。关于MEMS的书籍很多，楼主可以看看，我喜欢看一些网站，如新材料在线（）等，有新兴技术和材料的最新科研进展，可以学到很多知识。
问：MEMS传感器在工业领域有哪些应用？
- 答：工业类MEMS传感器是根据材料的物理、化学、生物学的特性和规律设计而成的器件，种类繁多，分类方法也比较多。以下，就是北京智芯传感为大家梳理一下工业类MEMS传感器类型：按用途分类，可分为压力、位移、速度、温度、湿度等传感器；按测量原理分类，可分为物理型传感器、化学型传感器和生物型传感器。如电压式、热电式、电阻式、光电式、电感式等；按制造工艺分类，可分为集成传感器、薄膜传感器、厚薄传感器和陶瓷传感器等等。想了解更多可以百度一下。
- 答：MEMS传感器在工业领域应用非常广泛，工业生产各个环节都需要MEMS传感器进行监测，并把数据反馈给控制中心，以便对出现异常节点进行及时干预，保证工业生产正常进行。中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球近二分之一的MEMS器件，但是MEMS元器件的国产化率却相当低，不足30%。目前，由北京智芯传感科技有限公司自主研发的微差压气体压力传感器ZXP8系列和防水型压力传感器ZXP4系列产品，走在了MEMS压力传感器国产化的前列。回头百度参考下就知道了。
问：毕业论文题目：MEMS封装技术的研究，立题卡和开题报告怎么写啊，求专业人士指点！！能帮我写最好！
- 答：难度比较大，好好找找论文。不同形式的传感器封装的形式的不一样！
- 答：MEMS 资 讯 网 去看看吧
- 答：已发送，请查收，sohu那个
问：MEMS系统的资料征集
- 答：我找到一个 不错 但是不能复制过来有劳你自己去看下啊 谢谢！
是关于微型生物芯片微制造技术的 我相信是你要的
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